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写在前面:

本笔记是个人学习拉扎维的《模拟CMOS集成电路设计》的心得总结,由于正在学习模拟电子电路和半导体器件,所以对书中的一些关键内容理解稍有偏差,还请谅解!

MOS器件物理基础#

数字电路中常常用MOS管的通电断电来控制导通与截止,从而控制01信号以及逻辑操作。但是我们更加疑惑:在导通和截止之间发生了什么,多大的电压可以导通,导通沟道有压降存在吗,等等,这也是模拟电路的研究范畴。

针对这些问题,理想的学习路径分为两条,一是从固体物理或半导体物理出发进行器件推导,二是从电路层面学习黑盒子进行拼接组装。幸运又不幸的是,我正在同时学习两门课程。

I-V特性推导#

我们已知,MOS管的G和B之间有电容的性质,可以通过控制栅极电压,从而控制导电沟道。这种假设下的沟道两端的D和S,他们的电势完全相同,但实际应用中,由于有电流流动,就必然会带来电势的不平衡,也就是VD>VSV_D>V_S

在这种情况下的氧化层电容,其中的电荷分布也会有所不同。粗略来看,必然是压差大的地方电荷多,压差小的地方电荷少。这种情况下我们做一个近似:缓变沟道近似。我们假设沟道中纵向的电场远小于横向的电场。基于这个假设,我们可以把沟道看作无数个微小的MOS电容串联,每一处的电荷密度只由该处的局部电压决定。

我们以源极为原点 x=0x=0,且设 VS=0V_S = 0,漏极 x=Lx=LVD=VDSV_D = V_{DS}。在距离S极 xx 的位置,沟道电势为 V(x)V(x)

因此,单位面积上的自由电子电荷密度 Qn(x)Q_n(x) 为:

Qn(x)=Cox[VGSVTHV(x)]Q_n(x) = -C_{ox} [V_{GS} - V_{TH} - V(x)]

根据半导体物理的漂移电流公式,电流等于电荷密度乘以载流子漂移速度 v(x)v(x),再乘以沟道宽度 WW。漂移速度与电场成正比:v(x)=μnEx=μndV(x)dxv(x) = \mu_n E_x = \mu_n \frac{dV(x)}{dx}所以沿 xx 方向的漏极电流 IDI_D 可以写为:

ID=WμnCox[VGSVTHV(x)]dV(x)dxI_D = W \cdot \mu_n \cdot C_{ox} [V_{GS} - V_{TH} - V(x)] \frac{dV(x)}{dx}

由于稳态下电流 IDI_D 在沟道各处处处相等,我们可以对上式分离变量,并在整个沟道长度 LL 上进行积分:

0LIDdx=0VDSWμnCox[VGSVTHV(x)]dV(x)\int_{0}^{L} I_D \, dx = \int_{0}^{V_{DS}} W \mu_n C_{ox} [V_{GS} - V_{TH} - V(x)] \, dV(x)

左边积分得到 IDLI_D \cdot L,右边是对 V(x)V(x) 的多项式积分。将 LL 除过去,我们就得到了大名鼎鼎的线性区(Triode Region)电流公式:

ID=μnCoxWL[(VGSVTH)VDS12VDS2]I_D = \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} \left[ (V_{GS} - V_{TH})V_{DS} - \frac{1}{2}V_{DS}^2 \right]

我们分析此公式可以得到他有一个最大值为:

ID,max=12μnCoxWL(VGSVTH)2I_{D,max} = \frac{1}{2}\mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (V_{GS}-V_{TH})^2

最大值在VDS=VGSVTHV_{DS}=V_{GS}-V_{TH}取得,从这个角度出发,我们得到了模拟电子电路上对MOS管的三段描述:

VDS>VGSVTH,VGS>VTHV_{DS}>V_{GS}-V_{TH},V_{GS}>V_{TH}VDS<VGSVTH,VGS>VTHV_{DS}<V_{GS}-V_{TH},V_{GS}>V_{TH}VGS<VTHV_{GS}<V_{TH}
饱和区线性区截止区

MOSFET跨导#

跨导是MOS管在饱和区工作时,电压随电流的变化,用gmg_m表示,为:

gm=IDVGSVDS,const=μnCoxWL(VGSVTH)=2μnCoxWLID=2IDVGSVTHg_m=\frac{\partial I_D}{\partial V_{GS}}|_{V_{DS,const}}=\mu_n C_{ox}\frac{W}{L}(V_{GS}-V_{TH})=\sqrt{2\mu_n C_{ox}\frac{W}{L}I_D}=\frac{2I_D}{V_{GS}-V_{TH}}

二级效应#

体效应#

在多管串联的电路(如源极跟随器、共源共栅放大器)中,很多MOS管的源极电位并不为0(VS>0V_S > 0),而为了防止正向偏置,P型衬底通常统一接最低电位(VB=0V_B = 0)。这就导致了源衬底反向偏压 VSB>0V_{SB} > 0

VSB>0V_{SB} > 0 时,PN结反偏加剧,表面势垒变高。从半导体物理的角度来看,反偏电压吸引了更多的空穴向衬底深处移动,导致沟道下方的耗尽层电荷(固定负离子)增多。要想重新开启沟道(达到强反型),栅极就必须额外施加电压,去抵消这些变多了的耗尽层固定电荷。在宏观上表现为阈值电压 VTHV_{TH} 升高。

引入体效应后的阈值电压公式为:

VTH=VTH0+γ(2ϕF+VSB2ϕF)V_{TH} = V_{TH0} + \gamma \left( \sqrt{2\phi_F + V_{SB}} - \sqrt{2\phi_F} \right)
  • VTH0V_{TH0}VSB=0V_{SB}=0 时的理想阈值电压。
  • γ\gamma:体效应系数(Body Effect Coefficient),其数学表达式为 γ=2qεsiNsubCox\gamma = \frac{\sqrt{2q\varepsilon_{si}N_{sub}}}{C_{ox}},可见衬底掺杂浓度 NsubN_{sub} 越高,体效应越明显。
  • 2ϕF2\phi_F:强反型时的表面势(通常约为 0.6V0.8V0.6\text{V} \sim 0.8\text{V})。

电路影响降低过驱动电压:由于 VTHV_{TH} 变大,过驱动电压 VGSVTHV_{GS} - V_{TH} 减小,在相同偏置下会导致电流 IDI_D 下降。

引入背栅跨导(gmbg_{mb}):在小信号模型中,衬底(B)变成了第二个“栅极”。衬底电压的变化也能控制电流,这被称为背栅效应,其跨导定义为:

gmb=IDVBS=ηgm(η=γ22ϕF+VSB0.10.3)g_{mb} = \frac{\partial I_D}{\partial V_{BS}} = \eta g_m \quad \left( \eta = \frac{\gamma}{2\sqrt{2\phi_F + V_{SB}}} \approx 0.1 \sim 0.3 \right)

在源极跟随器中,体效应会直接导致其电压增益无法达到理想的 1,而是退化为 gmgm+gmb+gmb_load\frac{g_m}{g_m + g_{mb} + g_{mb\_load}}

沟道长度调制#

在前面的推导中,我们假设一旦 VDSVGSVTHV_{DS} \ge V_{GS} - V_{TH},沟道就在漏端夹断,此后电流完全水平。但实际上,夹断点是会移动的。

VDSV_{DS} 进一步增大,多出来的电压(VDSVovV_{DS} - V_{ov})并不会平白无故消失,它会降落在漏极与夹断点之间的那段耗尽区上。随着该段耗尽区横向扩展,实际的有效沟道长度被“蚕食”了,变成了 Leff=LΔLL_{eff} = L - \Delta L。由于 ID1LeffI_D \propto \frac{1}{L_{eff}},有效长度减小导致沟道内的横向电场增强,从而使饱和区电流随 VDSV_{DS} 的增加而继续微微上升。

为了在数学上简便修正,我们仿照三极管的厄尔利效应(Early Effect),在线性区电流公式的基础上引入修正项 (1+λVDS)(1 + \lambda V_{DS})

ID=12μnCoxWL(VGSVTH)2(1+λVDS)I_D = \frac{1}{2} \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (V_{GS} - V_{TH})^2 (1 + \lambda V_{DS})
  • λ\lambda:沟道长度调制系数(Channel Length Modulation Coefficient),它与工艺和沟道长度成反比(λ1L\lambda \propto \frac{1}{L})。这意味着工艺越先进、管子尺寸越短,该效应越剧烈。

使电流镜失配:在模拟电路中,复制偏置电流的“电流镜”如果两端 VDSV_{DS} 不等,由于 λ\lambda 的存在,会导致电流复制不精准。

产生有限的输出电阻(ror_o):饱和区的 MOSFET 别想做成绝对理想的恒流源了,它具有一个有限的漏源输出电阻:

ro=(IDVDS)11λIDr_o = \left( \frac{\partial I_D}{\partial V_{DS}} \right)^{-1} \approx \frac{1}{\lambda I_D}

这个 ror_o 是模拟电路的“命根子”。单管共源放大器的内在增益上限就是 gmro-g_m r_o。为了提高增益,我们必须增大 LL(减小 λ\lambda)来逼高 ror_o

亚阈值导电性 (Subthreshold Conduction)#

数字电路中我们坚信:VGS<VTHV_{GS} < V_{TH} 时管子就彻底关断。但对模拟电路和固体物理来说,世事皆连续,断灭非瞬间。

VGSV_{GS} 略低于 VTHV_{TH} 时,半导体表面虽然没有达到“强反型”,但也进入了“弱反型(Weak Inversion)”。此时表面虽然电子极少,但并非为零。在强反型区,电流是由纵向电场驱动的漂移电流(Drift);而在亚阈值区(弱反型区),由于漏端电势高、源端电势低,两端的载流子浓度差占据了主导,此时的电流主要是扩散电流(Diffusion)。这就让 MOSFET 在微观行为上突然变成了一个 BJT(双极型三极管)!

因为是扩散机制,电流与栅源电压不再是平方关系,而是变成了指数关系:

IDID0exp(VGSζVT)I_D \approx I_{D_0} \cdot \exp ( \frac{V_{GS}}{\zeta V_T} )
  • VT=kTqV_T = \frac{kT}{q}:热电压(常温下约为 26mV26\text{mV})。

  • ζ\zeta:亚阈值理想因子(通常 >1>1),由栅氧化层电容和表面耗尽层电容分压决定。

  • 亚阈值摆幅(Subthreshold Swing, SS):指电流改变一个数量级(10倍)所需要改变的栅电压 VGSV_{GS}。定义为 SS=ln10ζVTSS = \ln 10 \cdot \zeta V_T。在常温下,室温物理极限约为 60mV/decade60\text{mV/decade},实际器件通常在 7090mV/decade70 \sim 90\text{mV/decade}

  • 超低功耗电路的福音:在生物医疗芯片、智能手表等对功耗要求极其严苛的场景下,可以故意让偏置电流降到 nA\text{nA} 级别,使管子工作在亚阈值区。此时它的跨导效率 gmID=1ζVT\frac{g_m}{I_D} = \frac{1}{\zeta V_T} 达到理论最高值,非常省电。

  • 数字电路的静态功耗(漏电):即便数字芯片在休眠,由于 SSSS 的限制,成百上千亿个管子的亚阈值漏电流累加起来也会消耗巨大的能量,这是现代先进纳米工艺(如3nm / 2nm)面临的重大物理挑战。

亚阈值导电性#

Analog Integrated Circuits Design
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Author JerryMain
Published at May 27, 2026